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Effect of partial coherence on dimensional measurement sensitivity for DUV scatterfield imaging microscopy.
Opt Express
; 27(21): 29938-29948, 2019 Oct 14.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-31684249
2.
Design of angle-resolved illumination optics using nonimaging bi-telecentricity for 193 nm scatterfield microscopy.
Optik (Stuttg)
; 156: 635-645, 2018 03.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-29503467
3.
Optimizing the nanoscale quantitative optical imaging of subfield scattering targets.
Opt Lett
; 41(21): 4959-4962, 2016 Nov 01.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-27805660
4.
Three-dimensional deep sub-wavelength defect detection using λ = 193 nm optical microscopy.
Opt Express
; 21(22): 26219-26, 2013 Nov 04.
Artículo
en Inglés
| MEDLINE | ID: mdl-24216846
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